紅外(wài)窗口材(cái)料主要用作紅外探測器和飛行器中的窗口、頭罩或整流罩等,因而,要求(qiú)材料在相應工(gōng)作波段(duàn)上具有盡可能高的透過率,自輻射盡可能小,以免產生(shēng)假信號。作為窗口材料還需能夠承受惡劣的環境條件(jiàn),特別是能夠承受氣(qì)動加速,因此它必須具有較高(gāo)熔點,在高溫下具有良好的力學性能,耐熱衝擊,耐高低溫交變,耐振動,耐粒子侵蝕和化學穩定性好等特點。

此外,要易於製成大塊材料,具有良好的加工性能,便於加(jiā)工成形。ZnSe是一種(zhǒng)優秀的紅外窗口材料,是紅外透鏡、激光窗口、紅外夜(yè)像儀的(de)首選材(cái)料。

光學加工將(jiāng)影響(xiǎng)znSe晶體的(de)宏觀應力。加工(gōng)中引入的宏(hóng)觀應力將降(jiàng)低ZnSe晶體的力學性能,並影響作為(wéi)紅外窗口材料的雨蝕抗力、熱衝擊(jī)抗力和固體顆粒衝擊抗力。同(tóng)時(shí)加工中引入的宏觀應力將影(yǐng)響加(jiā)工之後的znse晶體鍍膜質量。

化學一機械(xiè)加工中產生的宏觀應(yīng)力大小與化學機械加工工藝有關,這主要是機(jī)械設(shè)備的控製(zhì)和拋(pāo)光液的選擇。采用自行設(shè)計的化學一機械加工工藝加(jiā)工ZnSe透鏡,用X射線(xiàn)衍射分析技術測定Z11se器件在(zài)加工過程中宏觀應力的變化(huà)。

結果表明:加工前的器件和拋光後器件的宏觀應力相近,說明加工過程對器件的宏觀應(yīng)力影響小,這對器(qì)件的應用(yòng)非常(cháng)有利。

同時,證明所選用(yòng)的拋光液和(hé)機械設備參(cān)數是理想(xiǎng)的,有效地減弱了拋光過程對(duì)ZnSe晶格的機械衝擊力,加強了拋(pāo)光液的氧化能力,使加工過程中引入加工(gōng)器件表麵的損傷層厚度接(jiē)近(jìn)為零,即所采用的Znse晶體化學一機械法是成功的(de)。