大鍍膜（mó）是一個比較有特色的鍍膜技術，在國（guó）家863高技術項目（mù）的推動下，鍍膜設備和技術不斷得到更新和改進。同（tóng）時遇到的問題既（jì）具有普遍性又有不同於一般小口徑光學元件的特（tè）殊性。本文圍繞著大型激光反射鏡光學薄膜元件鍍膜中的（de）關鍵問題進行了分析研究。主要（yào）內容包括：
㈠普遍性問題（tí）：大型激光光學元件主要以反射膜為主，在反射膜的（de）鍍製檢驗中，膜層的環境穩定性（xìng）是一個很重要的指標。通（tōng）過一係列條件實驗研究（jiū）了膜層的保護性能，對膜層的微觀結構進（jìn）行（háng）了分析，給出了改善附（fù）著原因的解釋。光性主要是用離子輔助沉積解決了（le）介質膜層的吸收，寬波段反射（shè）膜係設計（jì）解決了反射帶的展寬，從實驗上獲（huò）得了較好（hǎo）的效果。
㈡特（tè）殊性問題：由於（yú）大型激光光學元（yuán）件具有很大尺寸和重量（liàng），因此在整個鍍（dù）製過程中元件裝卡的安（ān）全性，工裝夾具的強度與麵形變化的關係需要深入的研究。應用有限元法對大型（xíng）激光元件作了靜力學分（fèn）析，提出了工裝夾具改進方案，對今（jīn）後將要（yào）鍍製的更大型的光學薄膜元件的裝卡方（fāng）式和夾具進（jìn）行了探討（tǎo）。