傳統的光學係統設計通常利用透鏡的折射特性,但是對於需要在廣泛的激光波長範圍內實(shí)現多光譜成像的(de)應用,基於透鏡的係(xì)統(tǒng)就明顯無法勝任了。相比之下,反射光學係統不但能(néng)夠解(jiě)決大功率多光譜傳(chuán)輸,而且還能有效降低係統複雜度,節約本錢。
在激光(guāng)聚焦和多光譜成像應用中,折(shé)射式鏡頭的(de)麵型設計麵臨著兩大主(zhǔ)要挑戰:挑戰之(zhī)一是散射,事實(shí)上這也是每種(zhǒng)介質的固有特性,波長(zhǎng)決定了光束通過鏡頭的速度。散射導致不同波長的光線在聚焦時,焦點(diǎn)位置(zhì)會(huì)有(yǒu)差異。複合鏡頭可以(yǐ)解決這個題目——通過選擇各種不同的材料做成鏡頭(tóu),由於每種材料都具有不同的光學特性,因此彼此之(zhī)間可以互相(xiàng)平衡(héng)散射。
然而,這種方法隻能工作(zuò)在有限(xiàn)的波段,通常是工作在一些特殊波段,如可見光波段、近紅外波段以及短波紅外波段(SWIR)等。帶寬越寬,需要的元件就越多。這種折射方法除了需要花費更多的(de)時(shí)間和(hé)本錢外,其光學透射範圍也會受(shòu)到(dào)各種鏡片的化學性質和固有特性的限製。
因此,這便導(dǎo)致了折射係統的第二個(gè)缺點(diǎn):吸收。在大功率激光聚焦係(xì)統中,即使是很(hěn)小一部分的光能量被吸收,就可能導致鏡頭嚴重(chóng)損壞。傳統的解決方案是選擇鏡頭材料以及(jí)鍍膜,以進步對應激光波優點的透射率。
不幸的是,當同時需要多譜(pǔ)成像和大功率激光器(qì)時,這兩種解決方案並不能互相補足。在(zài)折射係統中,由於波(bō)段變寬,鍍膜所能夠達到(dào)的高透射任性能大大降低。因此對於一(yī)個傳統的鏡(jìng)頭係統來說,要麽需要限製光譜範圍,要麽限製激(jī)光功率,這兩者不能同時滿足(zú)。
多透鏡需(xū)求
突(tū)顯這種困境的潛(qián)伏(fú)本(běn)錢的一種應用是:在生產過程中檢測和修理平板顯示。用可見光掃描整個平板表麵,以找有缺陷,一旦缺陷被識別出來,高功率激光束(通(tōng)常由1064nm的Nd:YAG激光器輸出)就會對(duì)準缺陷部位進行融化。對於服務(wù)於該應用的單獨光學係統(tǒng),其必須在紅外波段和可見光波段有著很(hěn)高的透射(shè)率。而且,係統必須要將紅外光和可見光(guāng)聚焦(jiāo)在相同點(diǎn),這樣才能保證(zhèng)激光束能夠可靠地投射(shè)到缺陷(xiàn)處(chù)。
即便是(shì)能夠找到合適的(de)材料在如此寬泛的波(bō)段都能提供優良的透射性能,如此複雜且要求苛刻(kè)的光學係統也會非常昂貴。因此,已經實施(shī)的(de)解決方案就(jiù)是使用兩組複合物鏡。第一(yī)組複合物鏡用(yòng)於可見光掃描,通常結合氦氖激光器光斑通過係統透射用於準直目的(de)。當氦氖激光光斑指向缺陷部位時,透鏡係統的電動控(kòng)製台就(jiù)會移動到此處(chù),然後用近紅外光來代替可見光路並(bìng)進行激光往除。
由於需要多重(chóng)鏡頭組(zǔ)、電動(dòng)調整台等,因此這種方案(àn)不但本錢(qián)高昂,而且維修用度也非(fēi)常高。近紅外鏡頭與可見光鏡頭不能夠同時聚焦在相同的平(píng)麵,因此係統的準直非常重要,以(yǐ)確保激光燒蝕正常工作。
假如采(cǎi)用反射光學係統,則隻需要幾個光學元件就(jiù)能滿足該應用需求,由於反射係統不(bú)受波長約束。反射係統不會產生散(sàn)射;聚焦隻與幾何麵型(xíng)有關係,因此不需要用多種元件進行校(xiào)正。反射光路通過(guò)係(xì)統(取決於反射鏡的(de)反射率)與波長有關(guān),但是波長(zhǎng)對其產生的影響並不大。金(jīn)屬反射膜的光譜範圍有10μm、20μm等,不同的材料有著不同的反射率,從而答應反射鏡處理從紫(zǐ)外(150nm)到短(duǎn)波紅外(20μm)波段的光。假如需要極高的反射率以避免激光內部熱(rè)源的影響,則需要特殊的激光膜(mó)層,以進步激光波優點的反(fǎn)射率,同時在(zài)其(qí)餘(yú)波段不會對係統的性能產生影(yǐng)響。
典型的反射係統隻有幾個光學元件:一個主鏡用(yòng)來聚焦,一個二級反射鏡將光路(lù)進行轉折(shé)到更有利的位置。二級反射(shè)鏡由一個(gè)“三腳架”固定(dìng),並用一個鏡筒來固定整(zhěng)個光學係統。由於這種反射係統簡化了光路,因此與(yǔ)折(shé)射係統相比,能夠大幅縮減本錢(qián),而且可以(yǐ)使結構變(biàn)得更加緊湊,更加牢固,這(zhè)是由於通過反射鏡的反射,係統的光軸發生變化,從(cóng)而(ér)減(jiǎn)少了係統的長度。
例(lì)如,在麵板(bǎn)檢測(cè)以及維修時(shí), 反射係統的優點能夠得到很好的體現:隻需要一個鏡頭就能夠代替折射係統的兩個鏡頭,不需要安裝電動移位台器件(jiàn),體(tǐ)積得到進一步縮小,降低了本錢,並能夠進步產能,由於在使用時不再需要轉換物鏡。這種簡化版的光學設計同時意味著係統調整變得更加簡單,比折射係(xì)統的投資回報率(lǜ)高出了很多。
設計考量
在多光譜應用中,反射光學係(xì)統比折射光學係統更(gèng)易(yì)於設計和實施;然而,在選擇反射式物鏡時必須要(yào)考慮以下一些因素(sù):第一就(jiù)是選擇固定的係統還是可以調整的係統。固定版(bǎn)物鏡(jìng)在工廠生產的(de)時候(hòu)就已調整到最佳狀態,這種版本即使在震(zhèn)動以及意(yì)外碰撞下也不需要重新校準。而(ér)且,由於固定版物鏡安裝要比可調整版更(gèng)結實可(kě)靠,即使從適當的位(wèi)置跌落或掉落也不會影響其使用。
使得(dé)係統更牢固、更緊湊
固定版鏡頭非常適用於環境惡劣的產(chǎn)業(yè)應用,在安裝時不需要調整。為了具體說明這種(zhǒng)物鏡,開發職員必須知道變化間隔——要麽無窮遠或特殊的管長,以及蓋玻片厚度。一旦布置好後(hòu),以後就不需要再進行調整了。
調整版反(fǎn)射物鏡可通過一個或兩個參數(shù)來調(diào)整:鏡筒長度可調(diào),或(huò)校正由於蓋玻片的厚度(dù)變化而導致的球差。通常隻有鏡(jìng)頭本身發生改變時才進行調整,但是,當主鏡和附鏡之間的間隔發生變化時,也需要進行調整(zhěng)。廠商通常在出貨前會(huì)將光學性能(néng)調整到最佳狀態,帶調整(zhěng)說明以及特殊部位說明,比如調整(zhěng)圖片。使用者可將其安裝在係統中,可通過鏡筒長度和蓋玻片厚度(dù)進行調整,然後固定。
當調整型鏡頭需要(yào)定期調整時,其可通(tōng)過多重結構來調整,功能多樣。這種鏡頭為現貨供給,比如可與小於典型值(zhí)長度的鏡筒和蓋玻片厚度配套使用,不需要添加其他(tā)配件及額外用度就(jiù)能夠滿足用戶的特殊需求。
無論是固定版還是調整版,在購買(mǎi)反射式物鏡時都需要留意一些關鍵點。其中最(zuì)主(zhǔ)要的是二(èr)級反射鏡以及(jí)三角座為成像帶來的陰影尺寸。二級反射(shè)鏡布局在主光路上(shàng),將不可避免(miǎn)地阻擋一部分光束通過係(xì)統,降低光束質量。三角座的三個腿可導致衍射效應,采(cǎi)用四腳直行設計時情況更為嚴重。四腿對(duì)稱設計各個腳都會導致衍(yǎn)射效應,而且會(huì)相互疊加。三腿(tuǐ)彎曲設計會避免上述缺陷,使光能透射更(gèng)加均勻。
在使用反射物鏡時,另(lìng)外(wài)一個需(xū)要考慮的(de)因素是激光功率。這(zhè)種反射物鏡采用標準(zhǔn)金屬膜層,應用範圍(wéi)廣,但卻並不是(shì)大功率輸出激光器的最佳選擇。在(zài)與高(gāo)功率激光配套使用時,需要考慮(lǜ)膜層的損傷閾值。有些廠商可以根據用戶的要(yào)求定製。
反射式物鏡可用於多種應用領域(yù),如激光(guāng)退火或鑽孔,可將可見光波長(zhǎng)與(yǔ)紅外功率傳輸兩者相結合。使用一套(tào)光學係統就可丈(zhàng)量波長為190nm到1μm薄膜的厚(hòu)度。隻要在傳感器(qì)的響應範圍之(zhī)內,成像係統可涵蓋各種波長範(fàn)圍而不需(xū)要添加任何光學元件。