隨著(zhe)檢測(cè)器和數據處理係統的發展,傅裏葉變換顯微紅外光譜技術(shù)在短短的二十(shí)幾年間從單(dān)純的顯微鏡與紅外(wài)光譜聯用,發展到了紅外成像(xiàng)係統。
將傅裏葉變換紅外(wài)光譜儀中的紅外光束引入顯微鏡光路,可以獲得在顯微鏡下觀察到微小尺寸樣品的光學影像及相(xiàng)應成分的紅外光譜信息。由於紅外光的波(bō)長較長,紅外顯微(wēi)鏡的空間分辨率一般在6mm左右。若采用單(dān)點檢測器收集紅外光譜,則為(wéi)傅裏葉變(biàn)換顯微紅外光譜儀;若采用陣列檢測器收集紅外光譜,則(zé)為傅裏葉變換紅(hóng)外成像係統。紅外圖像(xiàng)係統的出(chū)現大大提高了樣品的檢(jiǎn)測速度,目前在刑偵(zhēn)學、生物學、醫學、化學、材料科學和礦物學等諸多領域都得到了廣泛的應用。
無論是顯微(wēi)紅外光譜儀或是紅外成像係統,使用者最關心的還是儀器的性能(néng)指標,也就是顯微模式(shì)下紅外光譜(pǔ)的信噪比及空間分辨率,另外,如何從紅外(wài)光譜圖像中提取有用(yòng)的信息(xī),也是大家所關心的,下麵將綜合這(zhè)幾點,介紹(shào)紅外成像係統的進展。
一、信噪(zào)比
在紅外顯微鏡和紅外成像係統測試中(zhōng),通過特殊(shū)設計的光學係統將測量光束直徑縮小到微(wēi)米甚至亞微米量級,從而可測試尺寸非常(cháng)小(xiǎo)的樣品或者是(shì)大尺寸樣品中非常小的區域,顯然此時光通量遠遠小於常規紅外光譜(pǔ)儀,若要獲得高的信噪比,對整體(tǐ)光學係統的光路(lù)係統(tǒng)要求相應也有很(hěn)大(dà)的很高,通常需要多個光學聚(jù)焦鏡(卡塞格林鏡)聯合(hé)使用,才能保證紅外光同軸,且能量損失最小,如圖1所示為PerkinElmer公司(sī)紅外(wài)光譜成像係統(tǒng)中的三卡塞(sāi)格(gé)林鏡(jìng)光(guāng)學係統。
紅外光先從光源到達卡塞格林鏡1,該鏡為聚焦鏡,將光束聚(jù)焦(jiāo),經過樣品,到(dào)達卡塞格林鏡2,即(jí)物鏡上,在此光路圖中,最重要的卡塞(sāi)格林鏡為3號鏡,即到達檢測器前,將(jiāng)紅外光譜的信號再次(cì)聚焦,保證能量最大。
高的(de)光通量,才能保證高的信噪比,所以(yǐ)紅外光譜成(chéng)像係統中三卡塞格林鏡的光路設計在一定程(chéng)度上(shàng)決定了(le)其較高的信噪比。
紅外成像1
如前所述,在紅外顯微鏡和紅外成像係統的光通量(liàng)遠低於常規紅外光譜儀(yí),且掃描速度較快,常規紅外檢測器不能滿(mǎn)足要求,無論是單點(diǎn)還是圖像分析(xī),均需要使用液氮冷卻的MCT檢測器以保證在(zài)快速測量時的高(gāo)信噪比(bǐ)。此處需要說(shuō)明,雖然測試速度比較慢(màn),但是單點檢測器(qì)的信噪比(bǐ)更高、測量光譜範圍更寬。
紅外成像係統所用檢測器(qì)基本上可以分為(wéi)兩種,一是焦平麵陣列檢測器,另一種(zhǒng)是線陣列檢測器。焦平麵陣列檢測器包括兩類,第一類主要是由紅外顯微鏡和大麵積焦平麵(miàn)陣列檢測器(qì)(凝視型,以64′64和(hé)128′128為(wéi)主)組成,凝視(shì)型同時以步進掃描技術(StepScan)作支撐;第二類主要是由紅外顯微鏡和小麵積焦平麵陣列檢測(cè)器(非凝(níng)視(shì)型,以16′16和(hé)32′32為主)組成,非凝視型不需要步進掃描技術作支撐,而是采用了快速掃描(RapidScan)的技術(shù)。由於焦平麵陣列檢測器源於美國軍方的技術,美國國(guó)防部對此類產品向中國大陸的出口進(jìn)行了限製,目前仍存在禁運的問題。因此,國(guó)內市(shì)場上常見(jiàn)的紅(hóng)外光譜儀器公司如PerkinElmer、ThermoFisherScientific、JASCO等則提供雙排跳躍式線陣列檢測器(2′16或2′8)或線陣檢測器(qì)(1′16),再結合快速掃描功能,實現紅外光譜成像質量和速度的雙(shuāng)重提高。目前各儀器廠商(shāng)陣列檢測器的信噪比從150/1~800/1不等。
二、空間分辨率
空間分辨率是指被測試(shì)的樣品采用顯微紅外“見到”的最小測試麵積。采用紅外顯微光譜儀器的可見光顯微係統對(duì)樣品進行觀察,選擇感興(xìng)趣的測試區域,然後將其劃分成若幹個采樣(yàng)微區,通常將這(zhè)些采樣微區稱為“像素(pixel)”。像素的尺寸是由儀器測試能力(lì)與樣品表征要求共同決定的。較小的像素尺寸可以提高測試結果的空間分辨率,但是光譜信噪比會降低,測(cè)量相同麵積的區域時所需時間也要增加。
由於(yú)紅外光波長較長,易產(chǎn)生衍射現象,不(bú)能像可見顯微鏡將樣品放大至1mm甚至更小,一(yī)般常規的(de)紅外圖像係統空間分辨率極限在6mm左右,所獲得的紅外指紋圖譜為6′6mm區域的信(xìn)息集合。
若要提高紅外(wài)光譜成像係統的空間(jiān)分辨率,可以(yǐ)考慮選擇(zé)衰(shuāi)減(jiǎn)全反射(ATR模式)。由於常規紅外光譜透射或反射成像(xiàng)時(shí)物鏡與樣(yàng)品之間的介質為空氣,而ATR模式中物鏡與樣品之間的折射率更高的內反射晶體為介質(zhì),因而光束半徑可以更小,即成像測試時(shí)的空間分(fèn)辨率更高。例(lì)如,鍺的(de)折射率是空氣(qì)的(de)4倍,因(yīn)此以鍺作為內(nèi)反射(shè)晶體(tǐ)時,ATR模(mó)式的空間分辨率比常規透(tòu)射或反射模式高4倍左右。所以(yǐ),在(zài)儀器廠家的宣(xuān)傳中可見ATR模式空間分辨率為1.56mm的說法,應(yīng)特別注意,此時為其名義(yì)空(kōng)間分辨率,或稱(chēng)像素空(kōng)間分辨率,而非實際真正的空(kōng)間分(fèn)辨率。 ATR模式包括ATR單點物鏡與(yǔ)ATR成(chéng)像附件兩種測量方式。如圖2所(suǒ)示,如果使用ATR單點物鏡進行成像分析,每次隻能測量與(yǔ)內反射晶體接觸的一個像素,然後使晶體與樣品脫離,移動樣品使內反射晶體接觸下一個像素並進行測量,直到獲得所有像素(sù)的光譜。很明顯的問題是,內反(fǎn)射晶體與樣品(pǐn)接觸後很容易被汙染,影響後(hòu)續像素測試結果(guǒ)的準確(què)性,而且所有像素逐個測量的(de)方式非常(cháng)耗時(shí)。
如果使用ATR成像附(fù)件(jiàn),內反射晶體與所測(cè)樣品一起固定在樣品台上,二(èr)者之間沒有相對位移,避免了晶體汙染造成的(de)測量(liàng)誤差。樣品台同步移動內反射晶體與(yǔ)所測樣品,改變紅外光束在內反(fǎn)射晶體上的入(rù)射位置,完成所(suǒ)有像素的測(cè)量。
由(yóu)於(yú)可以使用陣列檢測器,ATR成像的測試(shì)速度(dù)也非常快。但是,受到內反射晶體尺寸的影響,ATR成像的測試麵積比較(jiào)小(目前儀器上通常配備的(de)反射晶體的直徑為500mm,最大可以定製直徑為2mm的晶體,但應同時考慮檢測器、軟件等因(yīn)素)。此外,ATR單(dān)點物鏡與ATR成像附件(jiàn)有(yǒu)個共同的問題:該方法隻能測量距離內反射晶體表麵幾個微米深的樣品(pǐn)部分;在樣品表麵與內部不一致時,該方法(fǎ)獲得(dé)的一般隻是表麵信息。
三、紅外光譜成像的信息提取
使用合適的信息提取方法,從像素光譜(pǔ)中獲得所需要的信息,是紅外光譜成像技術應用的關鍵。成(chéng)像所測量的數據為若幹個像素的紅外光譜,這些像素具有特定的空間(jiān)位置,一般用橫(héng)坐標和縱坐標來表示。如果按照測量時的空間位置進行排(pái)列,像素光譜數據需要表示(shì)為一個r′c′n維的矩陣,因此需要使用適當的數據處理方法,對上述(shù)矩陣進行降維。若將每張像素光譜均轉換為反映特定信息的單一(yī)數值之後,再按照像素的空間位置將這些數值排列成一個r′c維的矩陣,然後以二維或三(sān)維圖形表示出(chū)來,就得到了反映(yìng)特定信息的數據采集區域的化學圖像。
常見的降維手段包(bāo)括:像素光(guāng)譜(pǔ)平均強度圖像,該方法可以反映測試區域內樣品數量較多的位置;像素光譜(pǔ)圖像特征峰強度或麵積圖像,該方法可(kě)以反映測試區域樣品中特征官能(néng)團的分布情況;使用模式識別方法對像素光譜進行(háng)分(fèn)類,根據像素光譜所屬類別將成像區域分割為不同部分,對各個部分的典型像素光(guāng)譜(pǔ)進行解析,可以了解一些成分的分布情況等。
本課題組近期也提(tí)出了兩種新的振動光譜成像數據信息提取方法。“主成分載荷乘積聚類分析-交替最(zuì)小二(èr)乘法”可用於沒(méi)有參考(kǎo)信息時的樣品化學成分非靶向解析;“偏最小二乘投(tóu)影-相關係數法”,則主要用於已(yǐ)知目標成分的靶向檢測,對微量成分的識別能力更強。

紅外鍍膜

  • 鍺基片雙麵AR8-12μm,平均透過率達到(dào)97%以上(shàng)
  • 鍺(zhě)基片4-12μm,平均透過率達到96%左(zuǒ)右
  • 矽基片3-5μm,平均透(tòu)過率(lǜ)達(dá)到98%左右(yòu)
  • 鍺基片AR&DLC8-12μm,平(píng)均(jun1)透過(guò)率達到91%以上
  • 矽基片AR&DLC3-5μm,平均透過率達到85%以上
  • 硫係(xì)(IRG201,IRG202,IRG204,IRG205,IRG206,)8-12μm、8-14μm平均透過率達到97%以上
  • ZnSe、ZnS、CaF2基(jī)底為增透膜
  • 中心分光膜
  • 高反射膜
  • IR-CUT

紅外測溫儀專(zhuān)用鏡片

  • 反射和透過,其表麵的發射率為1。但是,自然界中存在的實(shí)際物體,幾乎都不是黑體(tǐ),為(wéi)了弄清和獲得紅外輻(fú)射分布規律(lǜ),在理論(lùn)研究中必須選擇合適的模型,這就是普朗克提出(chū)的體腔輻射的量子化振子模型,從而導出了普朗(lǎng)克黑(hēi)體輻射的定律,即以波長表示的黑體光譜輻射度,這是一切紅外輻射理(lǐ)論的出發點,故(gù)稱黑體輻射定律。

    所有實際物(wù)體的輻射量除依賴於(yú)輻(fú)射波長及物體的溫度之外,還與構成物體的材料(liào)種類、製備方法、熱過程以及表麵狀態和環境條件等因素有(yǒu)關。因此(cǐ),為使黑體輻射定律適用於所有實際物體,必須引入一個與材料(liào)性質及表麵狀態有關的(de)比例係數,即發射率。該係(xì)數表示實際物體的熱輻(fú)射與黑體輻射的接近程度,其值在零和小於1的數值之間。根據輻射(shè)定律,隻要知道了材料的發射率,就知(zhī)道(dào)了任何物體的紅外輻射特性。影響發射率的主要因素在:材料種類、表麵粗糙度、理化結構和材料厚(hòu)度等。

    1、當用紅外輻射測溫儀測量目標的溫度時首先要測量出目(mù)標在其波段範圍內(nèi)的紅外輻射量,然後由測溫儀計算出被測目(mù)標的溫度。單色測溫儀(yí)與波段內的輻射量成比例雙色測溫(wēn)儀與兩個波段的輻射量之比成比(bǐ)例。

    紅外(wài)熱像儀是利用紅外(wài)探測器、光學成像物鏡和光機掃(sǎo)描(miáo)係(xì)統(先進的焦平麵技術則省去了光機(jī)掃描係統)接受被測目標的紅外輻射能量分布圖形反映到紅外探測器的光敏(mǐn)元上,在光學係(xì)統和紅外探測器之間,有一個光(guāng)機掃描機構(焦平麵熱像儀無此機構)對被測物體的紅外熱像進行掃描,並聚焦在單元(yuán)或分光探測器(qì)上,由探(tàn)測器將紅外輻射(shè)能轉換成電信號,經放大處理、轉換或標(biāo)準視頻信號通過電視屏或監測(cè)器顯示紅外熱像圖。

    鍺(zhě)玻璃在2-16um具有很好的透光性能,化學性質也比(bǐ)較穩定(dìng),不易與金屬氧化物,酸性物質空氣和水反應。紅外測溫儀器和熱成像儀裏麵需要用到中遠紅外的濾光片,測溫儀和熱成像儀一(yī)般工(gōng)作波段在(zài)2-13um,而鍺玻璃剛好在中遠紅外具有(yǒu)很好的透光性,普通的光學(xué)玻(bō)璃在(zài)這些波段透過率極低,所以很難實現。加上在(zài)鍺玻璃上鍍上光學薄膜,可以大大增加它的(de)透過率,減少鍺玻璃表麵的(de)反射(shè)率。鍺玻璃在可見光波段是(shì)不(bú)透過的。

    在某些熱成像儀中我們也可以用(yòng)矽晶體來代替鍺玻璃,矽晶體的工作(zuò)波段沒(méi)鍺玻璃那麽遠。紅外濾光片

    矽(Si)單晶(jīng)是一種化學惰性材料,硬度高,不溶於水.它在1-7μm波段具有很好的透光性能(néng),

    同時它在遠紅外波段300-300μm也具有很好的透光性能,這是其(qí)它光紅外(wài)材料所不具有的特
    點.矽(Si)單晶通常用於3-5μm中波紅外光學(xué)窗口和光學濾光片的基片.由於該材料導熱性能好,
    密度低,也是製作激光反射鏡或紅外測溫及紅外光(guāng)學鏡片的常用材料.